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德國HERION電磁閥的是怎樣走到現在的？
德國HERION電磁閥從原理上分為三大類(即：直動式、分步直動式、導式)，而從閥瓣結構和材料上的不同與原理上的區別又分為六個分支小類(直動膜片結構、分步膜片結構、導式膜片結構、直動活塞結構、分步活塞結構、導活塞結構) 。

 原理：它是種直動和導式相結合的原理，當入口與出口壓差≤0.05Mpa，通電時，電磁力直接把導小閥和主閥關閉件依次向上提起，閥門打開。

 當入口與出口壓差>0.05Mpa，通電時，電磁力打開導小閥，主閥下腔壓力上升，上腔壓力下降，從而利用壓差把主閥向上推開；斷電時，導閥和主閥利用彈簧力或介質壓力推動關閉件，向下移動，使閥門關閉。

 特點：在零壓差或真空、高壓時亦能可靠工作，但功率較大，要求豎直安裝。 
2、德國HERION電磁閥原理：通電時，電磁線圈產生電磁力把關閉件從閥座上提起，閥門打開；斷電時，電磁力消失，彈簧力把關閉件壓在閥座上，閥門關閉。

 特點：在真空、負壓、零壓時能正常工作，但般通徑不超過25mm。 
3、HERION電磁閥原理：通電時，電磁力把導孔打開，上腔室壓力迅速下降，在關閉件周圍形成上低下高的壓差，推動關閉件向上移動，閥門打開；斷電時，彈簧力把導孔關閉，入口壓力通過旁通孔迅速進入上腔室在關閥件周圍形成下低上高的壓差，推動關閉件向下移動，關閉電磁閥。

德國HERION電磁閥的閥芯有三個工作位置，平時不通電，處于微啟狀態，閥門提供初始流量；給種電信號，電磁閥全開，提供大流量；給另種電信號，閥門關閥。閥門還帶有手動裝置，使得長期關閥時也不需耗電。三位電磁閥可視為種結構更為緊湊的雙聯電磁閥，它很方便地實現三位調節，得到了很多應用。

德國HERION電磁閥進步的思路是n個大小成定比例的電磁閥組成2n種流量，類似于數字電路稱這種組合閥為數字閥。實際上兩個大小不同的雙聯閥或三位閥就可產生24=16或32=9種流量，已經能達非常高的精度。從原理上說，它與工控計算機配套具有優勢，但由于應用域還沒有提出大量的需求，這項技術尚處于試驗階段。